一、ITO靶材是什么材料
ITO靶材,全称为氧化铟锡靶材,是电子信息工业领域的关键材料之一。氧化铟锡(英文全称为Indium Tin Oxide,简称“ITO”),由氧化铟和氧化锡粉末按照一定比例混合后,经过一系列的生产工艺加工成型,再高温烧结形成的黑灰色陶瓷半导体材料。薄薄的氧化铟锡在可见光范围内呈现透明状。不过在红外光线下,氧化铟锡层起着不透明的作用,反射红外线。
氧化铟锡作为一种n型半导体材料,具有高的导电率、优异的可见光透过率、较强的机械硬度和良好的化学稳定性,主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀、各种光学镀膜等。
ITO靶材是溅射靶材中的一种,主要通过磁控溅射将ITO靶材气化,溅镀到玻璃基板或柔性有机薄膜上,制造成ITO薄膜,后者为透明导电氧化物薄膜,厚度一般为30-200纳米。
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二、ITO靶材应用领域
1、平板显示器(纯度5N)
在平板显示领域,ITO靶材主要用于制作ITO导电玻璃及触控屏电极平板,是LCD、PDP、OLED、触摸屏等各类平板显示器件制备的核心材料。显示面板一般涉及上下两层ITO导电膜,用量较大,ITO靶材是平板显示领域用量最大的靶材之一。
ITO导电膜玻璃按电阻分为:高电阻玻璃(电阻范围在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻范围在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻范围小于60欧姆)。其中高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN、TFT液晶显示器和透明线路板。
LCD面板组件总厚度不到1公分,内部包含20多项材料及元件。不同类型LCD所需材料不尽相同,但基本结构类似,即在ITO导电膜玻璃内夹着彩色滤光片、偏光板、配向膜等材料,灌入液晶材料,后封装成一个液晶盒。因此,ITO导电膜玻璃作为LCD面板的关键基础材料,约占LCD面板材料成本的30%,而ITO靶材约占导电玻璃成本的20%。
2、薄膜太阳能电池(纯度4N)
ITO是一种透明导电层,在太阳能电池中作为透光层,同时作为电极,一般为正极,另一个电极一般以金属银或铝作为背电极使用。ITO靶材主要用于生成太阳能薄膜电池的背电极,主要需求为方形板状靶材。
3、保温透光领域
ITO透明导电膜玻璃作为面发热体,通电后可以除冰霜,用于飞机挡风玻璃、飞机眩窗、激光测距仪、潜望镜观察窗等,多年来已得到了广泛的应用。ITO透明导电膜玻璃正反面具有相反的红外线通过及反射性能,玻璃正面具有优良的红外线通过性,衰减量极小,而反面又具有红外线阻挡反射作用,因而该种玻璃具有优良的保温透光性能,已大量用于制造冷藏柜,随着成本的降低将有望用于房屋节能。
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